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| 利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术 |
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| 来源:中国无机盐网 作者: 加入时间:2007-5-18 8:37:41 阅读次数: |
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以廉价的无机盐Al(NO3)3·9H2O为原料,通过溶胶一凝胶法制备勃姆石(γ-AlOOH)溶胶,然后经干燥、煅烧制备γ-Al2O3的粉体.并通过旋转涂覆工艺制备了γ-Al2O3的薄膜,应用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等现代分析技术对粉体的物相和薄膜的组分及表面形貌进行表征,对γAlOOH溶胶制备过程中的一些影响因素进行探讨得出了比较好的制备γ-Al2O3基陶瓷粉体和薄膜型气敏传感器的工艺技术条件。
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